電子半導體的快速發展是工業和企業發展的驅動力,促進了經濟和社會的發展。然而,隨著制造業的擴大,加工廠的增加,電子半導體廢水的排放量增加,半導體廢水不能隨意排放。半導體工業是一個非常依賴水資源的行業,也是一個耗水量大的行業。特別是在水資源有限的情況下,限水和缺水給半導體制造商的運營帶來了巨大的壓力。
因此,半導體生產企業節水的研究和實踐有助于提高用水效率,降低用水成本。目前,節約用水和中水回收,廢水回收已經成為半導體經營者應對缺水危機的重要措施,尤其是廢水的回收,不僅可以降低對水資源的需求,還可以降低企業的生產成本,減少對環境的污染。
電子半導體廢水處理方法有很多,如生化、物理、物化、化學等??梢愿鶕雽w廢水的水質進行處理,但吸附、冷凍、離子交換樹脂、超濾、電滲析等。廢水處理成本相對較高,廢水去除達標排放率相對較低。電子半導體生產工藝復雜,工藝步驟有很多步,同時使用各種化學試劑和特殊氣體。主要生產工藝包括硅片清洗、氧化、擴散、化學氣相沉積、光刻、脫膠、干刻蝕、濕刻蝕、離子注入、金屬化鍍膜、化學機械拋光等。