半導體芯片廢水處理工藝有哪些?
近年隨著科技的一直提高和國民需求的日益增添,我國半導體消費行業得到了較快的開展,然而隨之而來是少量的半導體廢水排放問題。
(1)二級反映+一級助凝+一級積淀,體系出水氟離子濃度基礎到達<Zomg÷L請求;若增添一級積淀,即用二級反映+積淀+一級反映+積淀的兩階段積淀反映,體系出水氟離子濃度可掌握在10mg/L以下。
(2)濃氨吹脫吸出工藝-含氟廢水兩階段積淀工藝(含氟廢水與CMP研磨廢水混雜解決)一三級酸堿中和解決工藝。
(3)兩級反映池、酸堿原液間接投加,運行出水不穩固且藥劑消費量很大。
(4)反沖刷過濾器,是一種應用濾網間接阻攔水中的雜質,去除水體懸浮物、顆粒物,下降濁度,污染水質,增添體系污垢、菌藻、銹蝕等發生,以污染水質及掩護體系其余裝備正常任務的裝備。經反沖刷過濾器解決后的水質豈但到達了國度規則的廢水排放規范,經反沖刷過濾器解決后的水源可反復、循環應用有效的節儉了水資源。