含氟廢氣的凈化含氟煙氣具有煙氣量大、含氟濃度低、組成復雜、含塵量高的特點。對含氟氣體的粉塵的處理，主要有濕法和干法兩種。

        1、濕法除氟：采用液體吸收劑從煙氣中吸收氟化氫、四氟化硅等，分離出來的含氟溶液加以處理制成氟化物，可以回收利用。由于氟化物水溶性很強，吸收很快，可收到很好效果。國內濕法除氟的工藝，采用先除塵，再經吸收塔、脫水塔、去沫塔至熱風爐，最后由煙囪排放，凈化率可達90%以上，如經多級吸收可達95%。含氟廢水用鈣鹽處理，澄清液可循環使用，沉淀可回收氟化物。濕法除氟設備復雜，費用高，腐蝕嚴重，有二次污染，國外逐漸用干法取代。

        2、干法除氟：國外在鋁行業中已普遍應用干法凈化技術。美國、日本等在鋼鐵磷肥行業中大量采用氧化鈣干法除氟。干法除氟凈化流程簡單，處理煙氣量大，除氟效率高(一般大于98%),不排含氟廢水，無二次污染和設備腐蝕等問題，基建費用和運行費用都較低。凈化劑要選擇凈化性能好，價廉易購的藥劑。

        含氟廢水的處理主要有三種。

        1、氟化鈣沉淀法：鈣鹽沉淀法廣泛用來除氟。在含氟廢水中加入鈣鹽，使之生成難溶性氟化鈣沉淀。此法適用于處理含氟高的廢水，處理后的含氟量可降至12～13毫克/升，另外氟化鈣沉淀還可再處理回收。

        2、凝聚沉淀法：此法不需特殊設備，費用較低，但占地面積大，不易連續操作和實行自動化。在實際應用中常用明礬來除去飲用水中的氟，但明礬的用量很大；聚丙烯酰胺是一種理想的凝聚劑，能使沉降速度加快，固液分離效果明顯提高，且泥渣量少，但藥劑價格較高。

        3、活性鋁礬土吸附法：活性鋁礬土具有很強的吸附能力，經它處理后可將含氟量降。